電子束光刻機(jī)
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光罩圖形化：電子束光刻發(fā)展之路
隨著大陸AI和消費(fèi)電子市場和需求的飛速發(fā)展，國產(chǎn)先進(jìn)制程的需求呈現(xiàn)爆發(fā)式增長。海量先進(jìn)光罩如鯁在喉，因此國產(chǎn)電子束光刻機(jī)任重道遠(yuǎn)，亦刻不容緩。
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